Sa yo rele excimer lazè a refere a lazè ki te pwodwi pa eksite dimers. Yo rele l excimer paske li pa yon molekil ki estab. Li se yon molekil pasaje ki te fòme yon fwa nan yon seri de reyaksyon fizik ak chimik ki te koze pa gaz lazè melanje yo te ekspoze a enèji ekstèn. Viv li se sèlman kèk douzèn. Nanosecond, lazè excimer se yon kalite lazè batman kè, ki jenere lazè ak longèdonn diferan paske kavite a sonan plen ak melanj diferan nan gaz ra ak gaz alojene. Ranje longèdonn lan se 157-353nm.
Gaz k ap travay yo itilize nan operasyon lazè refractive korn se ArF, ki pwodui yon lazè excimer 193nm, ki se yon vag limyè iltravyolèt. Lè chak reyon lazè frape tisi a, li ka vaporize molekil tisi yo, kidonk li egzat Entansite a trè wo, epi paske li se yon lazè frèt, li pa pwodui yon efè tèmik sou tisi a akote pati iradyasyon an. Avèk vaporizasyon egzat sa a, yon kouch korn lan ka koupe avèk presizyon, men li pa afekte estrikti korn lan. Pa gen efè negatif.
